伤害某半导集成电路芯片生产我们,晶圆生产加工步骤中有含硅、氟的唯一性废污水,设置正确工作大小1200吨/日。废污水化学物质非常复杂,富含納米级硅顆粒及盐酸,传统性正确工作手段其特性很难考核标准。
污废水 组成成分及原因
最主要的污染破坏物
:橡胶胶体部分硅(100-500nm粒级)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
起源工艺技术
:晶圆刻蚀废气(45%)、CMP检查是否厂家抛光剂废气(40%)、装备冲刷水(15%)
治疗的工艺流程
全新用"耐腐蚀滤渣+重型膜分离法"科技路线图:
钙盐沉淀物
:加药系统氯化钙清除氟阴阳离子(转换CaF2石雕文化沉淀)
斜管沉淀池化学反应
:软型水解酸化池剂满足胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜公款私存微细颗粒状
反渗软件系统
:脱盐率>98%,回报率75%
减压蒸馏凝结
:浓水段控制氟化物0排放口
终极效用
氟化物氧浓度:<8mg/L(低过各国3级规定10mg/L)
硅含水量:<5mg/L
水教育资源造纸废水处理率:70%适用于保压塔保湿
危废处理减药:挥发残余物量较传统艺术工艺设备变少60%