某半导手工制造工厂因晶圆除污程序形成含氨废渣，容量200吨/天。废渣中除氟化物外还具有氟化物和进样器血本属，处置关卡大。当地人排出基准规定要求氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废气物质及来源于 晶圆进行维护清洁化工废水（主要是来历）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀生产工序废水处理方法：含氢化物发生器铜、镍等高价属，pH值起伏大 CMP碾磨废气：含硅科粒及高锰酸盐指数 办理工艺技术程序流程 用"药剂学发展+膜溶合+折点氯化"整合鑫霖环保： 预治理 ：添加CaCl2除氟，有效控制pH在7.5-8. 超滤膜体系 ：删去0.01μm不低于小粒物 反融于萃取 ：将化学需氧量浓缩造成至1000mg/L之上 折点氯化 ：正确控制氯加药量，将氟化物转化成为氢气 阴阳离子交互 ：切实保障天价属达到 以后感觉 化学需氧量安全稳定＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含锌量小于验测限 水工业废水处理率达75% 淤泥生成量减小40%