该厂为84英寸晶圆生产线一起的超注射用水平台，没天生产含硅废水净化处理方法150吨。废水净化处理方法中虽无血本属，但硅浓度高易积垢，且内阻率需达到18MΩ·cm可以循环。原来净化处理工学院艺不能足够新发布的《電子化学工业水危害物污染物标准规范》（GB39731-2020）非常污染物标准值。 焦化废水组分基本特征 具体的有害物质 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、小粒硅（粒度0.1-1μm） 特种特殊要求 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 水体特征 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅氧化物特征缜密 处置流程图流程图 不断创新采用了"梯级膜离心分离+电去阴离子"组合构成制作工艺： 微滤预治疗 ：1μm陶瓷图片膜阻拦大颗粒肥料硅，通量维系80LMH 阴离子交流光敏树脂 ：D201大孔硅橡胶考虑性降解硅酸氧分子 二次元RO软件系统 ：第1段回报率60%，2.段选择高脱硼膜电子器件 EDI电去阴离子 ：电流量密度计算公式2A/m²，坚持我们要除的残留物正离子 分光光度计杀菌消毒 ：254nm紫外光线分子量40mJ/cm² 技術薄弱环节 设计特用阻硅剂（设计胺类塑料物），廷迟膜生态破坏过渡期3倍 EDI组件转型升级流道结构设计，硅快速清理率不断提升至99.8% 网络硅解析仪（在线测量规模0.1-500μg/L）推动正确掌握 运作成果 经其次方在线检测： 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼水平从8μg/L低于0.3μg/L 控制系统环保再生资源回成品率从原40%提拔至68% 膜进行更换生长期延迟至5年，年启用制造费变低35%