该晶圆打造厂是在华东各地各地,最主要生孩子84英寸半导体行业晶圆,日访问量电镀废水废气物量约800吨。会因为生孩子的时候中安全使用很多盐酸做晶圆蚀刻,引致电镀废池里氟化物溶液浓度高达到200-300mg/L,远超地区废气物标准(10mg/L以下的)。
焦化废水基本成分及从何而来
污水主要存在3个方式:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高氨水浓度氟化物(HF)、氰化钠及大量高价属
电化学机械制造抛光处理(CMP)废水处理方法
:含納米级硅颗料、可挥发络合剂
机械洁净污水
:含异丙醇、氯离子等有机质物
治疗施工工艺步奏
按照"化学上的沉淀出的物中+水泥混凝土沉淀出的物中+深度1活性炭过滤"三级视频治理体统:
一个治理
:添加氯化钙和氢氧化的钙,产生氟化钙沉淀自己,氟化物清掉率达85%
一级处置
:加上PAC(聚合物氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),洗去悬浊液态被污染的物
三級整理
:可以通过多物料吸出器和活力炭吸出,冒水氟化物氨水浓度平稳在8mg/L下列
重要性机 例如:pH模式自动调理模式、斜管悠长岁月中池、板框压泥机(淤泥脱水烘干)。
进而视觉效果
产品加载五年统计数据监测统计数据彰显:
氟化物年均密度:7.2mg/L(达不到国家的规格)
COD避开率:92%
飞灰含水量率:≤65%
年回收借助氟化钙副新产品约150吨,保持资原化借助